雙通道系列Chiller
Chiller高精度冷熱循環器 1568
半導體溫控裝置Chiller 主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度精準控制,控溫范圍:-100℃~+90℃;控溫精度:±0.01℃。公司在系統中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實現系統快速響應、較高的控制精度。
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半導體溫控裝置Chiller 主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度精準控制,控溫范圍:-100℃~+90℃;控溫精度:±0.01℃。公司在系統中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實現系統快速響應、較高的控制精度。
chiller 的排吸氣溫度(壓力)、冷凝溫度、冷卻水溫度(壓力)、進出液體(氣體)溫度(壓力)、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統進行全面管理監控記錄。
40℃以內加熱方式采用壓縮機熱氣加熱。chiller 循環系統采用全密閉設計、循環泵采用磁力驅動泵。Chiller 100%氦檢測,100%安規檢測,確保系統安全可靠。chiller 100%經過24小時連續運行拷機。
冷凝器 微通道換熱器(風冷)板式換熱器(水冷);蒸發器:板式換熱器;節流裝置:電子膨脹閥;控制系統:PLC可編程控制器
通訊:RS485接口Modbus RTU協議,以太網接口 TCP/IP協議
操作界面:無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示\EXCEL 數據導出
循環系統:整個系統為全密閉系統,低溫不吸收空氣中水份,不揮發導熱介質,低溫自動補充導熱介質進入循環系統。
外殼材質:冷軋板噴塑RAL7035;管路內部含:不銹鋼SUS304、銅、陶瓷、碳化硅、硅酮密封膠、PTFE
型號 | FLTZ-203W-2T | |
管道 | 通道1 | 通道2 |
溫度范圍 | -20℃~+90℃ | -20℃~+90℃ |
控溫精度 | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備) | |
制冷量 | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
加熱能力 | 2kW | 2kW |
流量/壓力 MAX | 20L/min 0.5MPa | 20L/min 0.5MPa |
導熱介質接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
環境溫度 | 10~35℃ | 10~35℃ |
環境濕度 | 30~70% | 30~70% |
冷卻水溫度 | 15~20℃ | 15~20℃ |
冷卻水流量 | 20L/min | 20L/min |
斷路器 | 30A | |
?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度(動態控溫) | |
重量 | 400kg | |
外形尺寸 cm | 50*90*160 |
型號 | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
管道 | 通道1 | 通道2 |
溫度范圍 | -45℃~+40℃ | +10℃~+80℃ |
溫度穩定度 | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備) | |
冷卻能力 | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ | 13kW@+10℃ |
加熱能力 | 2kW | 6kW |
流量/壓力 MAX | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
導熱介質接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
環境溫度 | 10~35℃ | 10~35℃ |
環境濕度 | 30~70% | 30~70% |
冷卻水溫度 | 15~20℃ | 15~20℃ |
冷卻水流量 | 40L/min | 20L/min |
斷路器 | 80A | |
?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度(動態控溫) | |
重量 | 550kg | |
外形尺寸 cm | 60*100*185 |
型號 | FLTZ-203W/2T雙系統 | FLTZ-305W/2T? 雙系統 | FLTZ-406W/2T? 雙系統 | |||
溫度范圍 | -20℃~90℃ | ?-30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
控溫精度 | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備) | |||||
流量/壓力 MAX | 15~45L/min 6bar | |||||
制熱 | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 3.5kW | 3.5kW |
制冷量 | 3kW at-15℃ | 3kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 2.5kW at -35℃ | 2.5kW at -35℃ |
內循環液容積 | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
膨脹罐容積 | 15L | 25L | 25L | |||
導熱介質 | 氟化液、防凍液、導熱硅油等 | |||||
制冷劑 | R404A/ R448 | |||||
導熱介質接口 | Rc3/4 | |||||
冷卻水接口 | Rc3/4 | |||||
冷卻水 | 50L/min at20℃ | 60L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
電源 | 三相220V? /? 三相400V? /三相460V | |||||
?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度(動態控溫) |
型號 | FLTZH-5W/2T | ||
介質溫度范圍 | 40℃~+250℃ | ||
控制系統 | PLC控制器 | ||
溫控點控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 本體回液口溫度控制模式 CHUCK入口溫度控制模式(通信) CHUCK回口溫度控制模式(通信) CHUCK本體溫度控制模式(通信) | ||
溫差控制 | 可設定控制目標控制溫度點與本體出液口溫度溫差 | ||
通信協議 | MODBUS RTU 協議 ?RS485接口,以太網接口 | ||
外接入溫度反饋 | 通過通信 | ||
介質出口溫控精度 | ±0.1℃ | ||
CHUCK溫控精度 | ±0.5℃ | ||
加熱功率 | 5.5kW | 5.5kW | |
冷卻能力 kW? AT | 250 ℃ | 5.5kW | 5.5kW |
150 ℃ | 5kW | 5kW | |
100 ℃ | 4kW | 4kW | |
50 ℃ | 2kW | 2kW | |
流量/壓力 | 8L/min 4bar | 8L/min 4bar | |
操作面板 | 7寸觸摸屏 | ||
安全防護 | 具有自我診斷功能;相序斷相保護器、電流監控、漏水報警、加熱系統三重保護、進出液口壓力監控及斷流保護 | ||
密閉循環系統 | 整個系統為全密閉系統,高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份,系統在運行中不會因為高溫使壓力上升,低溫自動補充導熱介質。 | ||
接口尺寸 | G1/2 | G1/2 | |
冷卻水接口 | Rc1/2 | ||
冷卻水流量 | 10L/min max? at 25℃ | ||
導熱介質 | 氟化液 | ||
外形尺寸 cm | 45*85*145(可定制化) | ||
重量kg | 約40KG | ||
電源 | 220V 三相四線制 32A | ||
外殼材質 | 冷軋板噴塑RAL7035 |
型號 | FLTZ-203W-2T | |
管道 | 通道1 | 通道2 |
溫度范圍 | -20℃~+90℃ | -20℃~+90℃ |
控溫精度 | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備) | |
制冷量 | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
加熱能力 | 2kW | 2kW |
流量/壓力 MAX | 20L/min 0.5MPa | 20L/min 0.5MPa |
導熱介質接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
環境溫度 | 10~35℃ | 10~35℃ |
環境濕度 | 30~70% | 30~70% |
冷卻水溫度 | 15~20℃ | 15~20℃ |
冷卻水流量 | 20L/min | 20L/min |
斷路器 | 30A | |
?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度(動態控溫) | |
重量 | 400kg | |
外形尺寸 cm | 50*90*160 |
型號 | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
管道 | 通道1 | 通道2 |
溫度范圍 | -45℃~+40℃ | +10℃~+80℃ |
溫度穩定度 | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備) | |
冷卻能力 | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ | 13kW@+10℃ |
加熱能力 | 2kW | 6kW |
流量/壓力 MAX | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
導熱介質接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
環境溫度 | 10~35℃ | 10~35℃ |
環境濕度 | 30~70% | 30~70% |
冷卻水溫度 | 15~20℃ | 15~20℃ |
冷卻水流量 | 40L/min | 20L/min |
斷路器 | 80A | |
?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度(動態控溫) | |
重量 | 550kg | |
外形尺寸 cm | 60*100*185 |
型號 | FLTZ-203W/2T雙系統 | FLTZ-305W/2T? 雙系統 | FLTZ-406W/2T? 雙系統 | |||
溫度范圍 | -20℃~90℃ | ?-30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
控溫精度 | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設備) | |||||
流量/壓力 MAX | 15~45L/min 6bar | |||||
制熱 | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 3.5kW | 3.5kW |
制冷量 | 3kW at-15℃ | 3kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 2.5kW at -35℃ | 2.5kW at -35℃ |
內循環液容積 | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
膨脹罐容積 | 15L | 25L | 25L | |||
導熱介質 | 氟化液、防凍液、導熱硅油等 | |||||
制冷劑 | R404A/ R448 | |||||
導熱介質接口 | Rc3/4 | |||||
冷卻水接口 | Rc3/4 | |||||
冷卻水 | 50L/min at20℃ | 60L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
電源 | 三相220V? /? 三相400V? /三相460V | |||||
?藝過程溫度控制 | 可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度(動態控溫) |
型號 | FLTZH-5W/2T | ||
介質溫度范圍 | 40℃~+250℃ | ||
控制系統 | PLC控制器 | ||
溫控點控制模式 | 本體出液口溫控控制模式 本體回液口溫度控制模式 CHUCK入口溫度控制模式(通信) CHUCK回口溫度控制模式(通信) CHUCK本體溫度控制模式(通信) | ||
溫差控制 | 可設定控制目標控制溫度點與本體出液口溫度溫差 | ||
通信協議 | MODBUS RTU 協議 ?RS485接口,以太網接口 | ||
外接入溫度反饋 | 通過通信 | ||
介質出口溫控精度 | ±0.1℃ | ||
CHUCK溫控精度 | ±0.5℃ | ||
加熱功率 | 5.5kW | 5.5kW | |
冷卻能力 kW? AT | 250 ℃ | 5.5kW | 5.5kW |
150 ℃ | 5kW | 5kW | |
100 ℃ | 4kW | 4kW | |
50 ℃ | 2kW | 2kW | |
流量/壓力 | 8L/min 4bar | 8L/min 4bar | |
操作面板 | 7寸觸摸屏 | ||
安全防護 | 具有自我診斷功能;相序斷相保護器、電流監控、漏水報警、加熱系統三重保護、進出液口壓力監控及斷流保護 | ||
密閉循環系統 | 整個系統為全密閉系統,高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份,系統在運行中不會因為高溫使壓力上升,低溫自動補充導熱介質。 | ||
接口尺寸 | G1/2 | G1/2 | |
冷卻水接口 | Rc1/2 | ||
冷卻水流量 | 10L/min max? at 25℃ | ||
導熱介質 | 氟化液 | ||
外形尺寸 cm | 45*85*145(可定制化) | ||
重量kg | 約40KG | ||
電源 | 220V 三相四線制 32A | ||
外殼材質 | 冷軋板噴塑RAL7035 |
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